摘要: 本文介绍了一种以步进电机为执行机构的数字系统；并针对半导体键合机自动对准系统的数字调节器D（Z）进行了具体的设计，最后给出自动对准的程序框图和程序．实验结果表明：采样控制系统的“最小响应法”对纯数字系统也是简单可行的．